采用离子交换或膜法脱盐去除无机盐类等，提高循环冷却水的浓缩倍率。但需根据采用的系统增加相应的预处理。以上四种深度处理方法的选用是根据二级处理后的污水水质和经深度处理后的污水用途来决定的。其中吸附氧化处理和除盐处理是用于较高级的用户，如锅炉的补充水等，其处理系统比较复杂、投资很高。而随着水处理技术的发展特别是膜处理技术的应用，使得中水进行脱盐深度处理并用于循环水成为经济可行的方法之一。